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场发射扫描电镜

产品简介

SS-8800肖特基热场发射扫描电子显微镜,适用于材料表征的微观分析,元素分析等。

产品型号:SS-8800
更新时间:2024-11-22
厂商性质:生产厂家
访问量:130

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品牌SENSEXRF/善时产地类别国产
背散射电子图像分辨率1.2nm二次电子图象分辨率0.9nm
加速电压0-30kV放大倍数6X-1000000x
价格区间400万-500万仪器种类热场发射
应用领域化工,电子,航天,制药,电气

SS-8800肖特基热场发射扫描电子显微镜主要技术参数


1.1 电子光学系统

1.1.1发射源:肖特基热场发射电子枪 (枪真空采用吸气剂泵设计, 发射源寿命:15,000小时)

1.1.2分辨率: 0.9nm@30kV  (SE)

1.1.3加速电压范围:0-30kV,连续可调

1.1.4放大倍数范围:2-1,800,000倍

1.1.5电子束流:1nA~20nA范围内1pA连续可调


1.2 透镜及物镜系统

1.2.1 高性能三级电磁-静电复合透镜系统,具备镜筒内加减速功能

1.2.2 低像差混合锥形物镜

1.2.3 镜筒加速系统

1.2.4 样品台减速系统

1.2.5 物镜系统具备磁性材料分析能力且具备自加热功能


1.3 真空系统

1.3.1真空系统:1个吸气剂泵、2个离子泵,1个涡轮分子泵,1个机械泵组成的机组

1.3.2枪真空优于2×10-7 Pa,样品室真空优于6×10-4 Pa

1.3.3全自动真空控制,具有真空互锁功能


1.4 样品舱及样品台

1.4.1样品室尺寸342mm(长)x324mm(宽)x320mm(高);

1.4.2五轴全自动优中心样品台、一体化设计样品台行程:

 X:0-150mm;Y:0-150mm;Z:0-150mm;R:360°连续;T:-5°-﹢75°

1.4.3 大型样品舱:内部尺寸342mm(长)x324mm(宽)x320mm(高)

1.4.4 最大载入样品尺寸340mm,样品最大高度260mm

1.4.5 样品台具有接触报警与自停功能.

1.4.6 样品台承受重量5kg


1.5 探测器

1.5.1  样品室独立二次电子探测

1.5.2  样品室独立四象限半导体背散射探测器

1.5.3  镜筒内独立IN-LENS二次电子探测器

1.5.4  CCD红外高清样品舱监视器,具备导航功能


1.6 图像显示与处理

1.6.1 显示方式:最大16384×16384像素显示全屏显示、分屏显示、数字电影、灰度直方图、伪彩色。

1.6.2 图像注释与数据区:提供标准数据区和定制数据区,可在图片上显示各种电镜参数和字符。

1.6.3 状态菜单:显示各种工作参数,如放大倍率、探测器类型、日期、加速电压等。

1.6.4 测量功能:可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量。

1.6.5.1 探测器输出输入:支持最多12个信号源输入,最多同时显示4种型号源(单一信号源,或混合信号源SE,BSE,SE+BSE,BSE1,BSE2,CL等其他信号源)

1.6.5.2 扫描速度:实时扫描(快扫),慢扫,区域扫描,速度13档可调;常规扫描;活动选区扫描;线扫描;点扫描;双放大扫描;图像分割扫描

1.6.6.1  图像可存储到操作系统支持的存储介质或输出到打印机。

1.6.6.2  图像存储格式:TIFF、BMP、JPG、PNG数字电影:(.avi)

1.6.7  配套计算机系统 Thinkpad计算机工作站:

Ø计算机配置为主流品牌工作站,其配置不低于: 英特尔至强处理W-2223 3.6G、16G内存、 三星500G SSD+1TB、显卡英伟达 P1000(独显-4G)、950W、Windos系统 、24"液晶显示器、光电鼠标、键盘。

1.6.8  基于WINDOWS10 的中/英电镜操作系统

1.6.9  输入设备:带有旋钮控制的操作面板、键盘、鼠标。

1.6.10  自动调整功能:电子枪,对中,聚焦,亮度,对比度,消像散,像散记忆等。

1.7 软件免费升级,后期可按客户要求有偿进行定制的软件开发。

   

1.7 真空系统
1.7.1  具备无油分子泵和离子泵及前级无油机械泵
1.7.2  样品室真空度:高真空模式的真空度为2×10-4 Pa
1.7.3  配静音模式,当真空度到达一定数值时,机械泵停止工作,从而降低能耗和噪音,延长机械泵的使用寿命



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