X射线荧光光谱仪主要由以下几个部分构成：
激发源：通常为X射线管，是X射线荧光光谱仪的重要组件。灯丝和靶极密封在抽成真空的金属罩内，灯丝发射的电子经高压电场加速撞击在靶极上，产生一次X射线，用于激发样品中的元素。
样品室：用于放置样品，部分仪器的样品室支持真空或氦气环境，以优化分析条件。样品台通常具有多个轴向调节功能，可以调整样品的位置和角度，以提高检测精度。
分光系统：波长色散型X射线荧光光谱仪的分光系统主要部件是晶体分光器，其作用是通过晶体衍射现象把不同波长的X射线分开。分光晶体靠一个晶体旋转机构带动，为了检测到特定波长的荧光X射线，分光晶体转动θ角，检测器必须转动2θ角。能量色散型X射线荧光光谱仪则没有复杂的分光系统，依靠半导体探测器直接测量荧光X射线的能量。
检测记录系统：常用的检测器有流气正比计数器、闪烁计数器和半导体探测器等。流气正比计数器适用于轻元素的检测，闪烁计数器适用于重元素的检测，半导体探测器主要用于能量色散型X射线的检测。检测器将X射线光子能量转化为电能，产生脉冲信号，经放大器、脉冲幅度分析器等处理后，由记录显示仪器记录下来，得到荧光X射线谱图。
数据处理系统：通常由计算机和分析软件组成，对检测到的光谱数据进行处理，通过特定的算法和模型，将光谱信息转化为样品中各种元素的种类及含量，生成定性和定量分析结果。
更新时间：2025-09-17
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