毛细管镀层测厚仪的核心优势在于利用微聚焦X射线与毛细管X射线光学系统，实现对微小区域（可小至20μm）的高精度、非破坏性测量，尤其适用于复杂曲面、细小部件或高价值饰品的镀层质量控制。
毛细管镀层测厚仪的精准测量能力源于多个部件的协同运作。
1、微焦点X射线源
采用微焦点X射线管，焦点尺寸可小至几微米，发射高能X射线（如Rh靶，20-50kV）。其特点：
高亮度与高准直性：确保X射线束高度集中，为后续聚焦奠定基础；
稳定输出：电压与电流可调，适应不同元素与基材的激发需求；
长寿命：保障设备持续稳定运行。
2、毛细管X射线光学系统
这是仪器的核心技术。由全反射玻璃毛细管（如聚束型或锥形毛细管）构成，利用X射线在玻璃内壁的全反射原理，将发散的X射线束高效聚焦成微米级细光斑（直径20-100μm）。其特点：
高效聚光：显著提升照射区域的X射线强度，增强信号；
空间分辨率高：可精准定位微小镀层区域，避免边缘效应；
无像差设计：保证光斑形状规则，测量结果准确。
3、探测器系统
采用高分辨率硅漂移探测器（SDD），用于接收样品受激后产生的特征X射线荧光。其特点：
高能量分辨率：能清晰分辨金（AuLα）、银（AgKα）等相近能量的谱线；
高计数率：快速采集信号，缩短测量时间；
低温冷却：通常采用Peltier制冷，降低噪声，提升信噪比。
4、三维电动样品台
配备XYZ三轴精密步进电机或伺服电机驱动平台，移动精度可达1μm。功能包括：
精确定位：将待测点精准移至X射线焦点；
自动寻边：通过预扫描确定镀层边界；
多点测量：编程实现阵列式自动测量，生成厚度分布图。
5、成像与对焦系统
高清CCD摄像头：提供样品表面实时彩色图像，放大倍数可达200倍以上；
同轴照明：环形LED光源，确保视野明亮均匀；
自动对焦：通过图像对比度或激光辅助，确保样品表面处于最佳焦平面，保证X射线激发效率。
更新时间：2025-09-28
点击次数：59
当前位置：
