台式扫描电镜

一、SS-30台式扫描电镜性能特点：

1、放大倍率20-30000X（Magnification Max 20-30,000 X）；

2、标配二次电子探测器，可选背散射电子探测器（Standard secondary electron detector, optional backscatter electron detector）；

3、1kV~15kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 15kV，High image resolution）；

4、通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

5、XYZ轴三向手动操作移动平台（XYZ axis three-way manual operation platform）；

6、最大样品尺寸高度20mm，直径40mm。

二、SS-30台式扫描电镜产品特性：

（1）台式扫描电子显微镜，体型小巧，占用空间小；

（2）强大的软件功能，单窗口操作界面，让用户操作方便简单；

（3）软件实现检测图形实时存储；

（4）扫描电子显微镜产品结构设计简洁，易于维护及保养；

（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。

三、主要参数：

1、分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2、放大倍率：20~60,000 X

3、加速电压：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

图像检测

1、二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

2、 Detector SE 二次电子探测器

观察模式

3.1.Standard Mode 标准模式

3.2.Charge-up reduction mode 递减模式

电子枪系统

1、灯丝类型：预对中钨灯丝

2、偏压系统：自动偏压方式

3、电子枪校正：手动方式

透镜构成

1、聚光镜：2段式磁线圈透镜

2、物镜：1段式磁线圈物镜

3、探测器类型：SE Detector/ BSE Detector

4、载物台系统：手动

5、载物台移动：3轴手动

6、图像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)